康寧推出 EXTREME ULE Glass，支援下一代晶片製程

康寧公司推出了全新的 Corning EXTREME ULE Glass，這項材料將協助晶片製造商應對智慧型裝置及人工智慧技術需求的快速成長。這種材料能夠幫助晶片製造商強化光罩設計，光罩作為製造晶片的重要模板，對生產最先進且具成本效益的晶片至關重要。

EXTREME ULE Glass 能夠承受極紫外光（EUV）黃光製程技術的高強度，這其中包含高數值孔徑（High NA）EUV 技術，該技術正迅速成為產業的標準。EUV 黃光製程允許製造商將最小、最複雜的晶片設計精準地圖案化與印刷。這項製程要求玻璃材料具備高度的熱穩定性及均質性，從而確保製造過程中的一致效能。

康寧先進光學部門副總裁 Claude Echahamian 表示，隨著人工智慧技術的蓬勃發展，市場對積體電路晶片製造的需求持續上升，使得玻璃技術的創新比以往更為重要。康寧的 EXTREME ULE Glass 將協助晶片製造商提高 EUV 製造的功率，並提升晶片生產的良率，進一步推動摩爾定律的發展。

EXTREME ULE Glass 具備極低的熱膨脹特性，能在各種光罩中提供一致的效能。其出色的平整度與均質性，也能大幅降低光罩波度（waviness），有助於製造商控制不必要的生產變因，並且支援高階鍍膜應用。